MEMS乙醇气体传感器

产品介绍：

MEMS乙醇气体传感器是一款采用在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料作为气敏材料，并可检测空气中乙醇气体浓度的气体检测仪器。MEMS乙醇气体传感器利用MEMS工艺在SI基衬底上制作微热板，对乙醇气体的灵敏度高，壳体坚固，抗震性好，使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与乙醇气体浓度相对应的输出信号。该乙醇传感器具有体积小、谐振频率高、功耗低、响应时间短等特点，表面体积比高可以提高表面传感器的敏感程度。

产品参数：

检测气体：乙醇

乙醇检测范围：0-500ppm

回路电压Vc：≤24V DC

加热电压VH：2.5V土0.1V AVorDC

负载电阻RL：可调

加热电阻RH：800+200 (室温)

加热功耗PH：≤80mW

敏感体电阻Rs：1KQ~30KQ

灵敏度S：RO/RS≥2

浓度斜率a：≤0.9

温度：20°C士2°C

湿度：55%RH士5%RH

标准测试电路：VH:2. 8V士0.1V VC:5.0V士0.1V