MEMS一氧化碳气体传感器

MEMS一氧化碳气体传感器是精讯畅通基于MEMS工艺而研发的CO传感器。MEMS一氧化碳气体传感器利用MEMS工艺在SI基衬底上制作微热板,采用在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料作为气敏材料,对一氧化碳气体的灵敏度高。该一氧化碳传感器具有体积小、抗震性好、寿命长、稳定性好等特点。

产品介绍:

MEMS一氧化碳气体传感器是精讯畅通基于MEMS工艺而研发的CO传感器。MEMS一氧化碳气体传感器利用MEMS工艺在SI基衬底上制作微热板,采用在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料作为气敏材料,对一氧化碳气体的灵敏度高。该一氧化碳传感器具有体积小、抗震性好、寿命长、稳定性好等特点。

产品参数:

检测气体:一氧化碳

CO检测范围:0-500ppm

回路电压Vc:≤24V DC

加热电压VH:2.5V土0.1V AVorDC

负载电阻RL:可调

加热电阻RH:800+200 (室温)

加热功耗PH:≤80mW

敏感体电阻Rs:1KQ~30KQ

灵敏度S:RO/RS≥2

浓度斜率a:≤0.9

温度:20°C士2°C

湿度:55%RH士5%RH

标准测试电路:VH:2. 8V士0.1V VC:5.0V士0.1V

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