二氧化氮MEMS气体传感器

二氧化氮MEMS气体传感器是精讯畅通利用MEMS气体传感器技术制作的二氧化氮传感器。二氧化氮MEMS气体传感器的微热板是采用MEMS制作的，使用的气敏材料是金属氧化物半导体材料。该NO2气体传感器具有体积小、谐振频率高、功耗低、响应时间短等特点，表面体积比高可以提高表面传感器的敏感程度。